奉天

　　晚餐之后，客人们旅途劳累，被送到招待所休息去了。

　　第二天上午，宾主重新落座，继续进行昨天的会谈。

　　MOCVD的讨论，成永兴基本上没有怎么参与。这些LED生产上的事情，已经不怎么值得他投入精力。有III型设备，不错，没有，也没有关系。

　　一台III型，可以抵过四五台II型，那么就上五台II型就好了。

　　一切都可以对付，唯独不能对付的就是时间。

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　　成永兴这次来，是针对LCD计划的一台核心机。

　　在LCD的生产步骤中，有个跟MOCVD功能和地位都很接近的设备，只不过在液晶生产里，它的名字叫做PECVD！

　　LCD产线升级的过程中，从一代到二代之中，发生的最大变化，就是这台PECVD。

　　有了这台PECVD，就是第二代，没有，就是第一代！

　　PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)的中文解释，是等离子体增强化学气相沉积法。

　　它是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体。而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

　　美国应材于1993年生产的AKT-1600型CVD，一经推出，就垄断了这个市场。

　　MOCVD，已经属于很昂贵的半导体设备了，一台量产型的价格在2000万左右。

　　可PECVD呢？AKT-55KPECVD，单台售价超过了一个亿！

　　什么是高利润率？这才是真正的高利润率！

　　贵倒不要紧，更重要的是，这种设备，注定与光电无缘，根本就别想买到。所以光电必须另想办法。

　　其实在MOCVD领域，科仪在后世的名气并不大。但是他们在PECVD领域名气很大！

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　　谈到PECVD，会议室里的一群人，都来了兴趣。这算是挠到了他们的痒痒肉了。

　　科仪作为中科院的一员干将，主要的职责就包括了PECVD的研制与开发。

　　这些年，整个科研体系的日子都不算太好过。中科院系统，相对其它部委下属科研院所，还算是好的，至少活下去没有问题。

　　虽然如此，但中科院体系里的国家级的项目，也都面临科研经费不足的问题。在整个90年代，一大批重大工程先后下马，都是没有钱造成的。

　　随着奉天科仪的经济效益好转，在中科院系统内部，也迎来了更多的关注。既然科仪自谋出路，闯出了一条新路，那么一些准备放弃了的项目，是不是可以转到科仪厂这边进行？

　　给光电打工，生产MOCVD，固然不错，但谁也不想当一辈子的加工厂不是？

　　刘民学和

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